为了解决以上问题，团队提出了可用于呼吸状态监测的三层结构MEMS湿度传感器，该器件由湿敏电容、参比电容、微加热器和热敏电阻四部分构成。该传感器通过原位集成纳米森林作为湿敏材料，大幅提高了检测灵敏度；参比电容的使用降低了环境干扰和寄生电容对测试结果的影响；热敏电阻用于测试环境温度为传感器提供温度补偿依据，减小了检测误差；...
2022-05-11 医药集团 819
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